團簇型多室CVD沉積系統

應用范圍:

主要用于非晶硅太陽能電池的研究和制作

技術特點:

主要用于非晶硅太陽能電池的研究和制作

描述

應用范圍:

主要用于非晶硅太陽能電池的研究和制作

技術特點:

主要用于非晶硅太陽能電池的研究和制作

主要技術參數:

技術參數Parameter
真空室尺寸

Vacuum?chamber?size

主真空室尺寸:Server?chamber Φ760×270mm
工作真空室尺寸:

Workstation?chamber

PECVD室 250×250×300mm
VHFCVD室 510×250×300mm
HWCVD室 550×250×300mm
進出片室尺寸;Loading?chamber 250×286×300mm
主真空室工位數:

Server?position?of?server?chamber

6
工作真空室數:

Number?of?Workstation?chamber

5
真空系統

Vacuum?system

傳輸室:Server?chamber F150+D30C
工作真空室:

Workstation?chamber

F100+D30C
進出片室:Loading?chamber D30C
極限壓力

Ultimate?pressure

傳輸室:Server?chamber 5×10-4Pa
工作真空室:

Workstation?chamber

5×10-5Pa
進出片室:Loading?chamber 5×10-1Pa
工件尺寸

Substrate?size

工件最大尺寸:

Maximum?diameter

100×100mm
工件最大重量:Maximum?weight 2kg
最大同時處理數量:

Maximum?loading?capacity

4
操作

Operation

全自動+計算機流程控制

Fully?automatic?computer?control

PLC控制

PLC?control

氣路控制系統

Gas?system

全套進口件氣路??16路進口流量計??進口變通導閥門

9路氣體(N2、Ar、SiH4、NH3、NOX、TMB、B2H6、CH4、CO2)

Imported?gas?path,16-ways?imported?MFC,imported?alterable?valve?9?routes

(N2、Ar、SiH4、NH3、NOX、TMB、B2H6、CH4、CO2?)

聯系信息

北京市大興工業開發區高米店 盛坊路儀器儀表基地

電話: 010-60250520、010-60250572

傳真: 010-60250572

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