ZZSX系列鍍膜機

應用范圍:

主要用于多層膜的鍍制,可制作各種濾光膜、反射膜、透射膜。

技術特點:

根據需要可以增加或提高配置,如真空系統選用分子泵、低溫泵;真空室配低溫捕集器;膜厚控制采用石英晶體膜厚控制儀;輔助鍍膜采用離子源、RF射頻轟擊等。

描述

應用范圍:

主要用于多層膜的鍍制,可制作各種濾光膜、反射膜、透射膜。

技術特點:

根據需要可以增加或提高配置,如真空系統選用分子泵、低溫泵;真空室配低溫捕集器;膜厚控制采用石英晶體膜厚控制儀;輔助鍍膜采用離子源、RF射頻轟擊等。

主要技術參數:

型號??參數 ZZSX-500 ZZSX-700 ZZSX-800 ZZSX-1100 ZZSX-1200 ZZSX-1350
結構形式 箱式前開門后置抽氣系統
真空室尺寸??寬×深×高/mm 500×500×680 700×700×860 800×800×1000 1100×1100×1200 Φ1200×1200 Φ1350×1240
極限壓力/Pa ≤5×10-4Pa
抽氣時間/min 從1×105Pa抽至2×10-3Pa≤20
蒸發源 e型270磁偏轉電子槍 加速電壓/KV 6,10兩檔可切換
數量/套 1 1(根據用戶需要可安裝2套)
功率/kv 6 10
坩堝容積/ml及穴數 20×4(或110環形坩堝) 22×4(或120環形坩堝)
電阻加熱式 電壓/v 5,10
功率/kw 2.5 5
水冷電極/對數 2/交替蒸發
工件架類型及尺寸/mm 整體拱形夾具Φ460 4片拱形夾具Φ650 4片拱形夾具Φ740;行星夾具Φ450×3任選一種 4片拱形夾具Φ1000;行星夾具Φ770×3任選一種 4片拱形夾具Φ1100 4片拱形夾具Φ1240
工件烘烤 功率/kw 4.5 4.5 9 13.5
溫度/℃ 350
直流離子轟擊 最高電壓/v 3400
額定功率/kw 1 1.5
真空系統配置 K-400油擴散泵系統 KT-500油擴散泵系統 K-600油擴散泵系統 KT-600油擴散泵系統 K-800油擴散泵系統 雙套K-600油擴散泵系統
光學鍍膜控制 光纖光路,透,反射控制,波長380nm-760nm(可擴展至380nm-1100nm)
水冷 水壓/Pa ~2.5×105Pa
水溫/℃ <25
壓縮空氣/Pa (5-8)×105Pa
總功率/kw 22 25 35 46 54 56
占地面積/mm長×深×高 2600×2500×1900 2800×2700×2100 3200×3200×2400 3500×3600×2600 4000×3600×2600 4200×4000×2800

聯系信息

北京市大興工業開發區高米店 盛坊路儀器儀表基地

電話: 010-60250520、010-60250572

傳真: 010-60250572

2013年七乐彩走势图